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半導(dǎo)體器件的溫度測量 半導(dǎo)體器件的溫度測量

半導(dǎo)體器件的溫度測量

  • 期刊名字:科學(xué)技術(shù)與工程
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  • 論文作者:馬志凌,鄭學(xué)仁
  • 作者單位:華南理工大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院
  • 更新時(shí)間:2023-03-23
  • 下載次數(shù):
論文簡介

測量正在工作的半導(dǎo)體器件溫度有很多種方法.這些方法大概可以分為三類:電學(xué)方法、光學(xué)方法和物理接觸方法.介紹了各種方法的物理基礎(chǔ),并且對每種方法的優(yōu)勢、劣勢以及空間解析度及需要特別注意的問題等進(jìn)行了討論.

論文截圖
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