組合結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體氣體傳感器的研究進展

論文簡介

綜合介紹了基于氣體傳感器互補反饋和互補增強原理的新型組合結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體氣體傳感器的研究進展,著重對傳感器的原理、結(jié)構(gòu)、材料及性能作了介紹,并分析了組合結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體氣體傳感器的發(fā)展趨勢.

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