低溫等離子體物理與技術(shù)的研究在國內(nèi)受到了越來越多的重視.在等離子體中發(fā)現(xiàn)的一些有趣的物理現(xiàn)象,如磁場重聯(lián)、塵埃等離子體等,使人們對等離子體物理的研究掀起了新的熱潮.在應(yīng)用方面,幾乎所有理工類實(shí)驗(yàn)室都有涉及低溫等離子體技術(shù)的實(shí)驗(yàn)裝置,這使得在我國低溫等離子體應(yīng)用方面的研究非常普及,包括微電子工業(yè)中的等離子體工藝,各種堅(jiān)硬、耐腐蝕、耐摩擦材料的制備,納米材料的制備,聚合物以及生物材料的表面改性,等等.隨著低溫等離子體技術(shù)的發(fā)展,低溫等離子體的診斷技術(shù)也隨之發(fā)展起來.文章簡要地介紹了近幾年來低溫等離子體研究在我國的發(fā)展,介紹了一些有關(guān)低溫等離子體的熱點(diǎn)研究課題.