低溫等離子體是空間主要環(huán)境之一,近年來被廣泛應用于材料表面改性、能源、航空、環(huán)境科學及國防等方面.本文介紹了等離子體診斷的常用方法和適用范圍.認為準確進行等離子體診斷取決于兩大因素:一是測量準確度(靈敏度);二是測試系統(tǒng)對等離子體產(chǎn)生的擾動較小.