半導(dǎo)體薄膜生長實時監(jiān)控系統(tǒng)的設(shè)計與應(yīng)用

期刊名字：計算機測量與控制
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論文作者：周智猛，徐茵，劉國濤
作者單位：大連理工大學(xué)
更新時間：2023-03-25
下載次數(shù)：次

論文簡介

文章分析了半導(dǎo)體薄膜生長工藝流程的特點.在此基礎(chǔ)上,為實驗室的ECR-MOCVD設(shè)備設(shè)計了一套半導(dǎo)體薄膜生長的實時監(jiān)控系統(tǒng), 介紹了系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)以及在WIN98環(huán)境下用VB6.0實現(xiàn)生長實時監(jiān)控系統(tǒng)軟件的實現(xiàn)方法.經(jīng)實驗證明,系統(tǒng)保證了工藝流程的連續(xù)可靠運行,實驗數(shù)據(jù)的可靠性和工藝流程的可重復(fù)性也大大提高,使用方便,降低了試驗人員的勞動強度,實現(xiàn)了預(yù)期的設(shè)計目標(biāo).

論文截圖

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