三氯氫硅精餾工藝改造淺析
- 期刊名字:中國石油和化工標(biāo)準(zhǔn)與質(zhì)量
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- 論文作者:李剛
- 作者單位:寧夏石嘴山市國電寧夏太陽能有限公司
- 更新時(shí)間:2023-03-13
- 下載次數(shù):次
論文簡介
通過對原設(shè)計(jì)改良西門子合成粗氯硅烷精餾工藝的改造,確保了整個(gè)工藝系統(tǒng)連續(xù)穩(wěn)定地生產(chǎn)出高純度硅料的三氯氫硅中間體,同時(shí)較原工藝年節(jié)約成本約1400萬.
論文截圖
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