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ECR新型低溫等離子體技術(shù)及應(yīng)用 ECR新型低溫等離子體技術(shù)及應(yīng)用

ECR新型低溫等離子體技術(shù)及應(yīng)用

  • 期刊名字：廣東科技
  • 文件大?。?/li>
  • 論文作者：王春安
  • 作者單位：廣東技術(shù)師范學(xué)院電子與信息學(xué)院
  • 更新時(shí)間：2023-03-20
  • 下載次數(shù)：次
論文簡(jiǎn)介

介紹了新型電子回旋共振(ECR)低溫等離子體技術(shù)以及其工業(yè)主要用途,電子回旋共振等離子體通過(guò)電子回旋共振吸收微波能量來(lái)產(chǎn)生高密度等離子體.該新型低溫等離子體由于無(wú)內(nèi)電極放電無(wú)污染、等離子體密度高、能量轉(zhuǎn)換率高和電離度高等優(yōu)點(diǎn)必將在高質(zhì)量薄膜沉積、反應(yīng)離子干法刻蝕及材料表面改性等方面得到廣泛的應(yīng)用.

論文截圖
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