結(jié)合實驗情況對通過基底材料的電流密度、原料中雜質(zhì)行為、高價鹵化物的生成以及鹵化物的蒸汽壓等影響鈦沉積速率的主要因素進(jìn)行了系統(tǒng)分析.以自制的鹵化劑和粗鈦為原料,采用特殊的工藝設(shè)備,首先使粗鈦與鹵化劑反應(yīng)制得鈦鹵鹽,然后控制反應(yīng)條件,使該鈦鹵鹽在適宜條件下發(fā)生熱裂解制備高純鈦.結(jié)果發(fā)現(xiàn):控制適宜的電流密度和操作溫度,可使鈦鹵鹽保持較高的蒸汽壓與轉(zhuǎn)移速度,并且可以抑制雜質(zhì)碘化物的轉(zhuǎn)移分解,從而使得純鈦有較為滿意的沉積速率和純度.