SMIF/微環(huán)境是應IC產(chǎn)品集成度不斷提高而發(fā)展起來的新技術.由于其工藝復雜,造價昂貴,所以在設計時有必要對其運行性能加以預測.本文運用CFD技術預測其內部氣流流場,為SMIF裝置的設計制造及運行提供理論依據(jù).