指出在現(xiàn)代半導體公司中,設備維護和維修的重要性,并且在這幾個方面,設備維修人員的基本要求,設備維修的基本方法,設備維修的日常維護,設備維修的預測性維修等提出自己幾點個人的建議,以使半導體設備的修護和維修得到完善.