端部霍爾離子源工作特性及等離子體特性研究

期刊名字：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)
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論文作者：潘永強(qiáng)，朱昌，陳智利，杭凌俠
作者單位：西安工業(yè)學(xué)院光電科學(xué)與工程系
更新時(shí)間：2023-03-20
下載次數(shù)：次

論文簡(jiǎn)介

研制了一種用于離子束輔助沉積光學(xué)薄膜的端部霍爾等離子體離子源,論述了該源的工作原理以及伏安特性.著重研究了用五柵網(wǎng)探針測(cè)試該源所發(fā)射的離子能量的原理和方法,并對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了分析、比較.對(duì)該離子源的離子束流密度和均勻性進(jìn)行了測(cè)試和分析.

論文截圖

上一條：激光金等離子體的電子離子碰撞電離速率系數(shù)

下一條：光譜法測(cè)量等離子體離子溫度和旋轉(zhuǎn)速度

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