采用蒙特卡羅模擬,對(duì)氮等離子體槍的兩個(gè)環(huán)形電極間的氮?dú)廨x光放電過程中電子的輸運(yùn)過程進(jìn)行研究.計(jì)算在不同平均電場(chǎng)與粒子數(shù)密度的比值(E/N)下,電子與氮分子發(fā)生不同碰撞的概率、出射電子的平均能量、方向角分布和電子的能量分布.結(jié)果表明,電子能量近似服從玻爾茲曼分布.隨著E/N的升高,電子平均能量升高,發(fā)生激發(fā)、離化、電離和離化電離碰撞的概率增大;非均勻分布的電場(chǎng)使分子獲得更高的離化率,同時(shí)顯著增強(qiáng)出射電子的能量.模擬結(jié)果為等離子體應(yīng)用設(shè)計(jì)提供了參考依據(jù).