針對(duì)目前國(guó)內(nèi)等離子體技術(shù)的教學(xué)和研究遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于工程應(yīng)用的實(shí)際情況,開發(fā)了多功能微波等離子體教學(xué)研究裝置.該裝置利用頻率2.45 GHz的微波激勵(lì)稀薄氣體放電,形成軸對(duì)稱的等離子體球,產(chǎn)生的等離子體無(wú)內(nèi)部電極,可避免放電污染.同時(shí)通過微波技術(shù)、真空技術(shù)、冷卻技術(shù)的集成,使該裝置結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、性價(jià)比較高.利用該裝置進(jìn)行了金剛石薄膜沉積與離子體診斷實(shí)驗(yàn),效果良好.