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用于CTCP技術的射頻無電極放電氮氣等離子體光源研究 用于CTCP技術的射頻無電極放電氮氣等離子體光源研究

用于CTCP技術的射頻無電極放電氮氣等離子體光源研究

  • 期刊名字:影像技術
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  • 論文作者:李朝陽,陳強,張廣秋
  • 作者單位:北京印刷學院等離子體物理與材料研究室
  • 更新時間:2023-03-21
  • 下載次數(shù):
論文簡介

本文報道了一種利用射頻無極放電激勵的氮氣等離子體新型光源,成功地對"星光"PS版進行了曝光,光譜分析表明氮氣射頻放電光源的光譜結構較碘鎵燈更適于傳統(tǒng)PS版曝光.為此,進一步從射頻功率、工作氣壓等方面探討了光源的最佳運行參數(shù),得到在230Pa、160W、采用兩個傳輸透鏡聚焦后獲得的光源功率密度是2.23mW/cm2.最后給出了運用此光源對PS版的曝光結果.

論文截圖
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