激光技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

期刊名字：電子工業(yè)專用設(shè)備
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論文作者：楊洪星，劉曉偉，陳亞楠，武永超，趙權(quán)
作者單位：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
更新時(shí)間：2023-03-24
下載次數(shù)：次

論文簡(jiǎn)介

激光技術(shù)自誕生以來(lái),受到了廣泛地關(guān)注,并逐步拓展了其應(yīng)用領(lǐng)域.對(duì)激光技術(shù)在晶片/芯片加工領(lǐng)域的應(yīng)用、激光打標(biāo)技術(shù)、激光測(cè)試技術(shù)以及激光脈沖退火技術(shù)(LSA)進(jìn)行簡(jiǎn)要的介紹.

論文截圖

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