合成氯硅烷精餾工藝改造

期刊名字：現(xiàn)代化工
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論文作者：王恒孝，胡小冬，黎展榮，唐猷成
作者單位：新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司
更新時(shí)間：2023-03-11
下載次數(shù)：次

論文簡介

針對多晶硅生產(chǎn)中合成氯硅烷精餾工藝存在的問題,對其工藝進(jìn)行了改造,采用Aspen Plus軟件對改造后的工藝進(jìn)行了模擬計(jì)算,并結(jié)合生產(chǎn)實(shí)際確定了較優(yōu)的操作條件.與原工藝相比,工藝流程簡單,設(shè)備數(shù)量減少,塔釜再沸器能耗減少23.56%,塔頂冷凝器能耗減少24.68%,合成精制三氯氫硅及多晶硅產(chǎn)品的合格率分別由改造前的92.1%和86.4%提高至97.5%和92.1%.

論文截圖

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