等離子體離子能量自動(dòng)分析器的研制和應(yīng)用

期刊名字：電子學(xué)報(bào)
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論文作者：吳先球，陳俊芳，蔣珍美，熊予瑩，吳開華，任兆杏
作者單位：華南師范大學(xué)物理系,中國科學(xué)院等離子體物理研究所
更新時(shí)間：2023-03-20
下載次數(shù)：次

論文簡介

為了快速獲得等離子體離子能量的分布規(guī)律,研制了一套等離子體離子能量自動(dòng)分析器.離子能量自動(dòng)分析器由多極型探頭和計(jì)算機(jī)控制的測量系統(tǒng)組成.利用離子能量自動(dòng)分析器在線測量了ECR等離子體中離子能量分布范圍為12～42eV,不存在對被加工的半導(dǎo)體器件表面產(chǎn)生損傷的高能離子,從而ECR等離子體技術(shù)適合于在半導(dǎo)體器件加工中應(yīng)用.

論文截圖

上一條：光譜法測量等離子體離子溫度和旋轉(zhuǎn)速度

下一條：等離子體中離子聲波的色散關(guān)系

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