微波放電氫等離子體的特性診斷和分析

論文簡(jiǎn)介

在微波等離子化學(xué)氣相沉積裝置中,分析了反應(yīng)室內(nèi)等離子密度空間分布以及等離子密度與氣壓和功率的關(guān)系,還分析了Hα(656.3 nm)的峰值強(qiáng)度與氣壓和功率的關(guān)系,得到了微波放電氫等離子體內(nèi)部的基本特性.

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