電感耦合RF放電等離子體的電流特性

期刊名字：深圳大學(xué)學(xué)報(bào)
文件大?。?/li>
論文作者：奚定平，余隕金，陳靜秋
作者單位：深圳大學(xué)理學(xué)院
更新時(shí)間：2023-03-21
下載次數(shù)：次

論文簡(jiǎn)介

從等離子體波動(dòng)方程和動(dòng)力學(xué)方程出發(fā),利用解析方法,討論電感耦合RF放電等離子體的電流特性和衰減機(jī)制.發(fā)現(xiàn)只有當(dāng)?shù)入x子體波的波速低到與等離子體內(nèi)能量較高一部分電子軸向運(yùn)動(dòng)速度相當(dāng)時(shí),等離子體和波相互作用才能在衰減機(jī)制中居主導(dǎo)地位.

論文截圖

上一條：等離子體破裂時(shí)EAST真空室的電磁和結(jié)構(gòu)分析

下一條：矢量球函數(shù)在Rotamak等離子體中的應(yīng)用

版權(quán)：如無(wú)特殊注明，文章轉(zhuǎn)載自網(wǎng)絡(luò)，侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系cnmhg168#163.com刪除！文件均為網(wǎng)友上傳，僅供研究和學(xué)習(xí)使用，務(wù)必24小時(shí)內(nèi)刪除。