微波氫等離子體的特性

期刊名字：物理實(shí)驗(yàn)
文件大?。?/li>
論文作者：鄭曉毅，徐偉
作者單位：廣州大學(xué)物理與電子工程學(xué)院
更新時(shí)間：2023-03-20
下載次數(shù)：次

論文簡(jiǎn)介

在MPCVD裝置中,通過(guò)調(diào)節(jié)微波功率和反應(yīng)腔壓強(qiáng),使用高分辨率多道光譜儀采集氫氣的Hα線.由譜線的多普勒展寬計(jì)算得到氫等離子體中的離子溫度.結(jié)果顯示,隨著微波功率的增大,離子溫度會(huì)先升高后降低；隨著反應(yīng)壓強(qiáng)的增大,離子溫度也先升高后降低.這說(shuō)明在MPCVD裝置中,可以通過(guò)調(diào)節(jié)裝置,得到最佳微波能量吸收點(diǎn).

論文截圖

上一條：激光等離子體聲信號(hào)特性

下一條：小孔等離子體運(yùn)動(dòng)實(shí)驗(yàn)方法

版權(quán)：如無(wú)特殊注明，文章轉(zhuǎn)載自網(wǎng)絡(luò)，侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系cnmhg168#163.com刪除！文件均為網(wǎng)友上傳，僅供研究和學(xué)習(xí)使用，務(wù)必24小時(shí)內(nèi)刪除。