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金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏機(jī)理探析 金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏機(jī)理探析

金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏機(jī)理探析

  • 期刊名字:西安理工大學(xué)學(xué)報
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  • 論文作者:田敬民,李守智
  • 作者單位:西安理工大學(xué)
  • 更新時間:2023-03-26
  • 下載次數(shù):
論文簡介

討論了金屬氧化物半導(dǎo)體表面的氣-氣、氣-固反應(yīng)及其相應(yīng)的電子過程,建立了分析氣敏作用機(jī)理的理論模型,并提出了改進(jìn)傳感器性能的指導(dǎo)性意見.

論文截圖
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