半導(dǎo)體氣體傳感器敏感機(jī)理的研究進(jìn)展

期刊名字：傳感器與微系統(tǒng)
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論文作者：徐甲強(qiáng)，韓建軍，孫雨安，謝冰
作者單位：鄭州輕工業(yè)學(xué)院
更新時(shí)間：2023-03-24
下載次數(shù)：次

論文簡介

為了改進(jìn)半導(dǎo)體氣體傳感器的選擇性,研究人員利用四極質(zhì)譜儀、氣相色譜、阻抗測試、XPS等檢測手段對半導(dǎo)體氣體傳感器的乙醇、硫化氫、氯氣、一氧化碳、氫氣、含氮化合物和有機(jī)烷烴等常見檢測氣體的敏感機(jī)理進(jìn)行了研究,取得了一些進(jìn)展.對研究所得結(jié)論和理論模型進(jìn)行了概述,并提出了今后的研究方向.

論文截圖

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