LED行業(yè)用廢氨氣處理技術(shù)

期刊名字：低溫與特氣
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論文作者：孫猛，李荷慶，金向華
作者單位：蘇州金宏氣體股份有限公司
更新時間：2023-02-24
下載次數(shù)：次

論文簡介

MOCVD金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積法制備LED外延技術(shù)產(chǎn)生的尾氣危害較大,需要進(jìn)行處理才能排放. 對現(xiàn)有的幾種尾氣處理技術(shù)進(jìn)行分析,指出各自存在的優(yōu)點和缺點. 從回收利用和節(jié)能減排兩個角度出發(fā),對原有方法進(jìn)行了改進(jìn),提出四級尾氣吸收的新型尾氣處理技術(shù),實現(xiàn)了氨氣的回收利用,降低對大氣的污染.

論文截圖

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