有機功能分子是新型納光電器件研究熱門材料之一,多用金屬-分子-金屬結方法研究其荷電輸運特性.本文從無損制備、微納尺度及可尋址性等方面,綜述了金屬-分子-金屬結器件研究進展.將制備方法歸為軟接觸法、掃描探針顯微鏡法、對電極法、交叉線法、角沉積法和納米孔法等六大類,并分析了不同方法及實驗參數對荷電輸運特性的影響.總的來說,掃描探針法可用于分子電學特性的快速統(tǒng)計分析,但可尋址性差;納米孔分子結具有良好的可尋址性,可用于分子輸運特性的變溫研究,但上電極沉積可導致分子層破壞或界面特性不確定;角度沉積法和軟接觸法可有效減少電極熱沉積對分子層的燒蝕,但器件尺度較大;對電極法可獲得納米級可尋址分子結,若結合模板壓印交叉納米線法制備電極,則在無損分子器件研究及其集成方面有很好的前景.