基于霍爾效應(yīng)的半導(dǎo)體外延片電參數(shù)測試

論文簡介

介紹半導(dǎo)體外延片霍爾效應(yīng)測試的理論和方法,利用霍爾效應(yīng)測試可以更好地研究半導(dǎo)體材料電學(xué)性能,在外延片的研制過程中測試外延層的載流子濃度,利用范德堡法測試電阻率以及載流子遷移率等參數(shù).

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