以砷單質(zhì)和氟氣為原料，采用氣固法制備三氟化砷，研究了反應溫度和反應物氟氣壓力對反應的影響。結果表明，制備AsF3的最佳條件：反應過程溫度控制在300℃左右，氟氣壓力控制在0.1MPa。此條件下，得到純度99%以上的三氟化砷產(chǎn)品。