采用現(xiàn)代先進(jìn)的計(jì)算機(jī)模擬軟件,對(duì)三氯氫硅精餾過(guò)程進(jìn)行了詳細(xì)的模擬計(jì)算和優(yōu)化,在此基礎(chǔ)上,得到了優(yōu)化的流程和工藝,達(dá)到了節(jié)能降耗的目的.采用現(xiàn)代高效分離技術(shù)--高效導(dǎo)向篩板精餾塔,對(duì)三氯氫硅精餾過(guò)程進(jìn)行了設(shè)計(jì)、計(jì)算,并且在實(shí)際生產(chǎn)中進(jìn)行了應(yīng)用.應(yīng)用表明,這種經(jīng)過(guò)理論優(yōu)化和高效塔板改進(jìn)的精餾技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量大幅度提高,硼的含量降低到極低,排放的三氯氫硅減少50%以上,同時(shí)節(jié)能20%～30%,實(shí)現(xiàn)了大規(guī)模提高經(jīng)濟(jì)效益的目的.