光刻機(jī)是芯片制造過(guò)程必不可少的設(shè)備之一，其重要性在于決定著芯片制程的先進(jìn)程度。7nm以下制程必須要用EUV，7nm以上的14nm、28nm等制程需要用DUV。

EUV只有ASML能夠生產(chǎn)，已被禁止出貨給中企。如今DUV也被盯上，美方一直在拉攏日、荷共同實(shí)施限制。近日，ASML正式確認(rèn)：新規(guī)達(dá)成！中芯國(guó)際竟早有準(zhǔn)備。

ASML確認(rèn)新規(guī)達(dá)成

美方之所以拉攏日、荷，主要是因?yàn)樾酒圃煊玫那暗拦饪虣C(jī)，目前只有3個(gè)國(guó)家4家企業(yè)能夠生產(chǎn)，分別是：荷蘭ASML，日本的尼康和佳能，我國(guó)的上海微電子。

EUV光刻機(jī)，只有荷蘭ASML一家能夠生產(chǎn)。DUV又分為ArFi、ArF、KrF三種，ArFi浸沒(méi)式光刻機(jī)除了ASML，尼康也能生產(chǎn)，而佳能和上海微電子只能生產(chǎn)低端的。

ArFi可用于生產(chǎn)45-7nm制程的芯片，所以美方限制DUV光刻機(jī)才會(huì)拉上日、荷。

去年10月份，美方收緊芯片限制措施，計(jì)劃限制14nm及以下先進(jìn)的芯片制造設(shè)備出口。美方雖然有三大半導(dǎo)體設(shè)備巨頭，但光刻機(jī)卻不擅長(zhǎng)，于是開始跟日、荷溝通。

日方一向積極配合，重點(diǎn)是荷蘭方面，起初荷蘭態(tài)度也非常強(qiáng)硬，表示不會(huì)照搬美方限制。近日，三方又就限制設(shè)備出口問(wèn)題進(jìn)行了溝通討論，據(jù)說(shuō)已經(jīng)達(dá)成了協(xié)議。

對(duì)此，ASML正式確認(rèn)，據(jù)了解政府之間已經(jīng)達(dá)成協(xié)議，不過(guò)具體實(shí)施還需要時(shí)間。

中芯國(guó)際竟早有準(zhǔn)備

三方達(dá)成協(xié)議的目的，自然是為了限制向我們出口先進(jìn)的芯片制造設(shè)備，其中就包括ASML、尼康和東京電子等廠商的設(shè)備。其實(shí)，最關(guān)鍵的還是ASML的DUV光刻機(jī)。

目前，我國(guó)先進(jìn)的晶圓制造企業(yè)有三家進(jìn)入到全球前十名，分別是排名第五的中芯國(guó)際、第六華虹集團(tuán)和第九合肥晶合集成。尤其中芯國(guó)際，DUV光刻機(jī)需求量最多。

近兩年， 中芯國(guó)際連續(xù)投資建了4個(gè)28nm成熟制程廠。不過(guò)，中芯已經(jīng)早有準(zhǔn)備。

首先，中芯國(guó)際早就續(xù)簽協(xié)議。光刻機(jī)因?yàn)榉浅?fù)雜，制造時(shí)間也很長(zhǎng)，交付期一般在1年半到兩年時(shí)間左右。因此，為正常到貨，都需要提前一兩年就跟ASML預(yù)訂。

中芯國(guó)際既然要大舉擴(kuò)產(chǎn)建廠，自然也需要提前預(yù)定DUV光刻機(jī)這個(gè)最重要的設(shè)備。

為此，中芯國(guó)際在去年初，就跟ASML續(xù)簽了價(jià)值12億美元的協(xié)議，大概率就是預(yù)定DUV。DUV光刻機(jī)4千萬(wàn)美元一臺(tái)，如果12億美元都是DUV的話，那將是30臺(tái)。

其次，中芯國(guó)際已經(jīng)預(yù)付資金。不僅續(xù)簽了協(xié)議，中芯國(guó)際還提前預(yù)付了設(shè)備訂購(gòu)的資金。前段時(shí)間，多個(gè)半導(dǎo)體制造商紛紛削減資本支出，而中芯國(guó)際卻提高支出。

對(duì)此，中芯國(guó)際聯(lián)合CEO趙海軍還進(jìn)行說(shuō)明，2022年資本支出從50億美元上調(diào)至66億美元，主要是為多條12英寸新產(chǎn)線準(zhǔn)備，要支付長(zhǎng)交期設(shè)備提前下單的預(yù)付款。

光刻機(jī)是所有設(shè)備中支出占比最高的，提高的16億美元支出中光刻機(jī)肯定占比不少。

再者，ASML應(yīng)該會(huì)加速出貨。ASML近日才表示，DUV可以正常出貨給中企。在協(xié)議達(dá)成后，還特別指出具體實(shí)施應(yīng)該要在數(shù)月之后，并且對(duì)2023年?duì)I收影響不大。

這意思相當(dāng)于表示，在限制實(shí)施之前應(yīng)該可以完成對(duì)中芯國(guó)際的DUV光刻機(jī)交付。

美方實(shí)施芯片禁令，一般都會(huì)有個(gè)緩沖期。之前，讓臺(tái)積電停止給華為代工芯片，就給了120天緩沖期，利用這個(gè)時(shí)間加速給華為生產(chǎn)了不少芯片，ASML應(yīng)該也可以。

雖然中芯國(guó)際不可能預(yù)先知道，美日荷三方會(huì)達(dá)成協(xié)議，但限制一直存在，當(dāng)然也會(huì)提前未雨綢繆。因此，中芯國(guó)際才會(huì)早早續(xù)簽協(xié)議、預(yù)付定金，爭(zhēng)取早日獲得DUV。

另外，ASML總裁近日還發(fā)出警告，美方一味實(shí)施限制，只會(huì)加速中企突破，生產(chǎn)出跟ASML匹敵的光刻機(jī)。再說(shuō)，上海微電子一直在加速攻堅(jiān)，國(guó)產(chǎn)28nm光刻機(jī)也快了！